旋转工作台

旋转精度(JIS B 7451-1997)

径向

(0.02+3.5H/10000)μmH: 为测量高度 (mm)

轴向

(0.02+3.5X/10000)μmX: 到旋转工作台轴的距离 (mm)

旋转速度

2, 4, 6, 10 rpm

工作台有效直径

Φ235mm

Φ200mm

Φ235mm

Φ200mm

调心/ 调水平

A.A.T

D.A.T

A.A.T

D.A.T

调心范围

±3mm

±5mm

±3mm

±5mm

调水平范围

±1°

台面承重

小于30kg

测量直径

小于Φ300mm

工件直径

小于Φ580mm

垂直移动(Z轴立柱)

移动直线度 (λc2.5)

0.10μm/100mm

0.10μm/100mm

0.15μm/300mm

0.25μm/500mm

与转台轴平行度(母线要素基准)

0.7μm/30a0mm

1.2μm/500mm

定位速度

小于5.0mm/s (测量时: 0.5,1.0, 2.0,mm/s)

检测高度

测量外径时

300mm

500mm

测量内径时

300mm

500mm

检测深度 (使用标准测杆时)

Φ32×85mm (深度),Φ7×50mm (深度)

X轴

直线度 (λc2.5)

0.7μm/150mm

与转台轴垂直度 (母线要素基准)

1.0μm/150mm

移动范围

175mm (–25mm - +150mm 转台中心)

移动速度

小于30mm/s (测量时: 0.5, 1.0, 2.0, 5.0 mm/s)

检出器

测力

约 10 - 50mN, 1 - 5 级

标准测杆, 材质

Φ1.6mm 硬质合金

范围

标准

±400μm/±40μm/±4μm

跟踪

±5mm

其他

带IN/OUT切换功能、测力切换功能(5级切换)、测头角度指示

(±45°),Z轴方向冲击探测功能、带滑动式检出器(3姿势规格)

其他

电源

100-240VAC

气压

0.39MPa

空气消耗量 (标准状态)

30L/min 标准状态 (80L/min 以上气源)

本体重量

180kg

200kg