Z轴立柱

标准立柱

高立柱

(垂直移动: 300mm)

(垂直移动: 500mm)

旋转工作台

旋转精度(JIS B 7451-1997)

径向

(0.02+3.5H/10000)μmH: 为测量高度 (mm)

轴向

(0.02+3.5X/10000)μm X: 到旋转工作台轴的距离 (mm)

旋转速度

2, 4, 6, 10rpm (自动定心: 20rpm)

工作台有效直径

Φ300mm

调心范围

±5mm

调水平范围

±1o

台面承重

小于80kg (自动定心: 65kg)

测量直径

小于Φ356mm

工件直径

小于Φ680mm

垂直移动(Z轴立柱)

移动直线度(λc2.5)

窄范围

0.05μm/100mm

宽范围

0.14μm/350mm

0.2μm/550mm

与转台轴平行度(母线要素基准)

0.2μm/350mm

0.32μm/550mm

移动范围

350mm

550mm

定位速度

小于60mm/s (测量时: 0.5, 1, 2, 5mm/s)

检测高度

350mm

550mm

检测深度(使用标准测头时)

Φ32×104mm (深度),Φ12.7×26mm (深度)

X轴

直线度 (λc2.5)

0.4μm/200mm

与转台轴垂直度 (母线要素基准)

0.5μm/200mm

移动范围

225mm (–25mm ~ +200mm 转台中心)

***: 50mm/s (测量时: 0.5, 1, 2, 5mm/s)

检出器

测力

约 40mN

标准测头, 材质

Φ1.6mm 硬质合金

范围

标准

±400μm/±40μm/±4μm

跟踪

±5mm

其他

旋转机构 (0? ～ 270? 的范围内以1? 增量旋转)

其他

气压

0.39MPa

空气消耗量 (标准状态)

45L/min (120L/min 以上气源)

重量

测量主体

650kg

670kg

防震台架

170kg